微电子与集成电路PRODUCT CENTER
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微纳电路退火系统RTP150
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微纳电路退火机RTP100
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微纳电路测量显微镜AFM90
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微纳电路椭偏测量机ELL100
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微纳电路反应离子蚀系统RIE150
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微纳电路反应离子蚀机RIE100
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微纳电路离子刻系统IBE150
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微纳电路离子刻机IBE100
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微纳电路化相淀积系统PECVD200
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微纳电路化相淀积机PECVD150
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微纳电路原子沉积机ALD150
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微纳电路磁溅系统SPU150
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微纳电路磁溅机SPU100
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微纳电路蒸镀系统TES150
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微纳电路蒸镀机TES100
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微纳电路显影机uDPM200
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微纳电路激光成型机uLCM150
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高精度烘胶机GRM200
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智能烘胶机GRM150
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烘胶台GRM100
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高精度匀胶机GLM200
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智能匀胶机GLM150
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匀胶台GLM100
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氧化扩散炉OXF200
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氧化扩散炉OXF150
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